| 发明名称 | 电子显微镜 | ||
| 摘要 | 本发明的电子显微镜具有：具有反射电子检测元件(9)的反射电子检测器；具有偏置电极(11)和试样台(12)的低真空二次电子检测器；以及切换所述各检测器的检测信号的信号切换器(14)。在观察条件存储器(20)中针对所述各检测器存储有最佳的观察条件。CPU(19)根据所述各检测器的切换来调出存储在观察条件存储器(20)中的观察条件，并设定电子显微镜的状态以形成所调出的观察条件。图像处理装置(22)将对应于所述各检测器的切换而得到的多个检测信号分别转换为二维图像信号，并对各个二维图像信号的画质进行评价。在画质优先模式下，CPU(19)根据图像处理装置(22)的评价结果来切换到评价值高的检测器进行图像显示。由此，在具有多个检测器的电子显微镜中，能够提供容易选择检测器以及容易设定针对检测器的最佳的观察条件的电子显微镜。 | ||
| 申请公布号 | CN102292790B | 申请公布日期 | 2014.05.28 |
| 申请号 | CN201080005312.1 | 申请日期 | 2010.01.19 |
| 申请人 | 株式会社日立高新技术 | 发明人 | 星野吉延;川俣茂 |
| 分类号 | H01J37/22(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 曾贤伟;范胜杰 |
| 主权项 | 一种电子显微镜装置，其具有：用于检测通过将电子束照射到试样上而产生的信号的不同种类的多个检测器；以及对各个检测器的检测信号进行切换的信号切换单元，该电子显微镜装置的特征在于，具备：存储单元，其针对所述多个检测器的每个检测器存储最佳的观察条件；以及控制单元，其对应于所述多个检测器的切换来调出存储在所述存储单元中的观察条件，并设定电子显微镜的状态以形成所调出的观察条件，所述观察条件包括工作距离，所述控制单元对应于所述多个检测器的切换而调出存储在所述存储单元中的工作距离，并使电子显微镜的试样台的位置移动，以形成所调出的工作距离。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||