| 发明名称 | 氧化硅玻璃坩埚，硅锭的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种进行多次拉晶时能抑制氧化硅玻璃坩埚的压曲及沉入的氧化硅玻璃坩埚。本发明的氧化硅玻璃坩埚用于单晶硅拉晶，其内表面具有矿化剂，该矿化剂含有Ca、Sr、Ba、Ra、Ti、Zr、Cr、Mo、Fe、Co、Ni、Cu和Ag中的至少一种原子，在所述内表面上的所述矿化剂的浓度在1.0×10<sup>5</sup>～1.0×10<sup>17</sup>个/cm<sup>2</sup>的范围内。 | ||
| 申请公布号 | CN102337585B | 申请公布日期 | 2014.05.28 |
| 申请号 | CN201110195035.1 | 申请日期 | 2011.07.15 |
| 申请人 | 日本超精石英株式会社 | 发明人 | 须藤俊明;岸弘史 |
| 分类号 | C30B15/10(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人 | 翟羽 |
| 主权项 | 一种氧化硅玻璃坩埚，用于单晶硅拉晶，其特征在于：该坩埚的内表面具有矿化剂，该矿化剂含有Ca及Fe中的至少一种原子，在所述内表面上的所述矿化剂的浓度在1.0×10<sup>8</sup>～3.0×10<sup>11</sup>个/cm<sup>2</sup>的范围内。 | ||
| 地址 | 日本秋田县秋田市茨岛5-14-3 | ||