Verfahren zur Auswertung von durch schmalbandige, kurzwellige, kohärente Laserstrahlung erzeugten Streubildern von Objektiven, insbesondere zur Verwendung in der XUV-Mikroskopie

摘要

Aufgabe war es, die durch schmalbandige, kurzwellige, kohärente Laserstrahlung entstehenden mikroskopischen Streubilder unter hochauflösender Detektion mit möglichst geringem zeitlichem und wirtschaftlichem Aufwand sowie unter hohem Durchsatz auszuwerten und eindeutig beurteilen zu können. Insbesondere soll für medizinische Zwecke, eine schnelle, aussagekräftige und gut handhabbare mikroskopische Untersuchungsmöglichkeit, beispielsweise für klinische Routine- und Vorsorgeuntersuchungen, geschaffen werden. Erfindungsgemäß wird das vom Objekt entstehende sowie ortsaufgelöst detektierte Mikroskopie-Streubild jeweils ohne erforderliche Rekonstruktion des Objektes mit Referenzdaten verglichen und anhand dieser in seiner Strahlungscharakteristik klassifizierbar bewertet.