一种半导体制造设备的自动移动装置

摘要

本发明属于半导体行业晶圆涂胶显影生产领域，具体地说是一种半导体制造设备的自动移动装置，可用于TRACK与光刻机相连接的接口单元，固定架安装在基础上，在固定架上设有通过伺服电机驱动的传动装置，滑动底座位于固定架的上方，滑动底座的一端与传动装置相连，另一端设有凸圆台；伺服电机安装在固定架的一端，固定架的另一端设有与凸圆台相对应的凹圆台，滑动座前轮通过连杆安装在滑动底座上、随滑动度座移动，在滑动底座与连杆之间铰接有调节滑动座前轮高度的螺旋顶杆。本发明可自动控制接口单元的移出及复位处理，有效提高作业精度，节约作业时间，降低人为因素造成设备破损风险。

主权项

一种半导体制造设备的自动移动装置，其特征在于：包括伺服电机（1）、滑动底座（10）、固定架（12）、滑动座前轮（13）、凸圆台（14）、凹圆台（15）及螺旋顶杆（16），其中固定架（12）安装在基础上，在固定架（12）上设有通过伺服电机（1）驱动的传动装置，所述滑动底座（10）位于固定架（12）的上方，滑动底座（10）的一端与传动装置相连，另一端设有凸圆台（14）；所述伺服电机（1）安装在固定架（12）的一端，固定架（12）的另一端设有与所述凸圆台（14）相对应的凹圆台（15），所述滑动座前轮（13）通过连杆安装在滑动底座（10）上、随滑动度座（10）移动，在滑动底座（10）与所述连杆之间铰接有调节滑动座前轮（13）高度的螺旋顶杆（6）；所述滑动底座（10）整体由传动装置带动往复移动，处于复位状态的滑动底座（10）上的凸圆台（14）与所述凹圆台（15）卡接，处于移出状态的滑动底座（10）上的凸圆台（14）通过螺旋顶杆的调节与所述凹圆台（15）分离。