发明名称 处理装置
摘要
申请公布号 TWI438290 申请公布日期 2014.05.21
申请号 TW098109526 申请日期 2009.03.24
申请人 爱发科股份有限公司 日本 发明人 池田均;菊池正志;小川正浩;冈山智彦
分类号 C23C14/22;G02F1/133;F27D7/06 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本