红外探测器及其制造方法

摘要

本发明提出一种红外探测器及其制造方法，在其硅衬底上依次沉积有金属反射层、介质层、牺牲层、敏感材料探测层和金属电极。金属反射层具有金属反射图案。介质层的高度与金属反射层的高度一致。本发明还提出上述红外探测器的制造方法，包括以下步骤：在硅衬底上形成金属反射层并实现其图形化；在金属反射层上形成介质层，并实现其平坦化；刻蚀介质并停在金属层上表面，确定介质层的高度与金属反射层的高度一致；沉积牺牲层；以及制作微桥红外吸收结构。

主权项

一种红外探测器，其特征是，包括：硅衬底；金属反射层，沉积在该硅衬底上，该金属反射层具有凹槽以构成金属反射图案；介质层，沉积于凹槽内，且该介质层的高度与该金属反射层的高度一致；牺牲层，沉积在该介质层和该金属反射层上，并光刻刻蚀形成通孔；敏感材料探测层，沉积在该牺牲层上；以及金属电极，沉积在该敏感材料探测层上。