具有减小电场畸变功能的容性探针装置

摘要

本发明提供了一种具有减小电场畸变功能的容性探针装置。该容性探针装置包括：真空腔体结构，呈筒状；绝缘陶瓷筒，固定于真空腔体结构的内侧；电子注感应环，呈环状，由金属导电材料制备，固定于绝缘陶瓷筒内侧的中部；电场改善环，呈环状，由金属导电材料制备，固定于绝缘陶瓷筒内侧的上部和下部，该电场改善环与电子注感应环绝缘，与真空腔体结构等电位；以及引线转接组件，用于将由电子注感应环的感应信号引出真空腔体结构外。本发明容性探针装置在电子注感应环的两侧增加了与其绝缘的金属材料的电场改善环，从而大大减少了电子注感应环两侧边缘电场畸变，使电场更均匀。

主权项

一种具有减小电场畸变功能的容性探针装置，其特征在于，包括：真空腔体结构(110)，呈筒状；绝缘陶瓷筒(120)，固定于真空腔体结构110的内侧；电子注感应环(130)，呈环状，由金属导电材料制备，固定于所述绝缘陶瓷筒(120)内侧的中部；至少一电场改善环，呈环状，由金属导电材料制备，固定于所述绝缘陶瓷筒(200)内侧的上部或下部，该电场改善环与所述电子注感应环(130)绝缘，与所述真空腔体结构(110)等电位；以及引线转接组件(150)，用于将由所述电子注感应环(130)的感应信号引出所述真空腔体结构(110)外。