低浓度两级配气系统

摘要

本实用新型提供一种低浓度两级配气系统，其特征在于：原料气钢瓶依次经第一减压阀、第一电磁阀和第一质量流量控制器接第一混合器，稀释气钢瓶经第二减压阀分别接第二电磁阀和第三电磁阀，第二电磁阀的另一端经第二质量流量控制器接第一混合器，第一混合器的输出端依次经第一缓冲罐、压力变送器、第四电磁阀和第三质量流量控制器接第二混合器，第三电磁阀的另一端经第四质量流量控制器接第二混合器，第二混合器的输出端经第二缓冲罐分别接第一转子流量计、第六电磁阀和第二转子流量计，第六电磁阀的另一端接真空泵，压力变送器和第四电磁阀的连接处经第五电磁阀接四通阀的第三输入端。本系统实现了两级自动配气，稀释范围大，自动化精度高。

主权项

一种低浓度两级配气系统，其特征在于：包括原料气钢瓶（1）、稀释气钢瓶（2）、第一减压阀（3）、第二减压阀（4）、第一电磁阀（5）、第二电磁阀（6）、第三电磁阀（7）、第四电磁阀（8）、第五电磁阀（9）、第六电磁阀（10）、第一质量流量控制器（11）、第二质量流量控制器（12）、第三质量流量控制器（13）、第四质量流量控制器（14）、第一混合器（15）、第二混合器（16）、第一缓冲罐（17）、第二缓冲罐（18）、压力变送器（19）、第一转子流量计（20）、第二转子流量计（21）和真空泵（22），其中原料气钢瓶（1）的输出端依次经第一减压阀（3）、第一电磁阀（5）和第一质量流量控制器（11）接第一混合器（15）的输入端，稀释气钢瓶（2）的输出端经第二减压阀（4）分别接第二电磁阀（6）和第三电磁阀（7），第二电磁阀（6）的另一端经第二质量流量控制器（12）接第一混合器（15）的输入端，第一混合器（15）的输出端依次经第一缓冲罐（17）、压力变送器（19）、第四电磁阀（8）和第三质量流量控制器（13）接第二混合器（16）的输入端，第三电磁阀（7）的另一端经第四质量流量控制器（14）接第二混合器（16）的输入端，第二混合器（16）的输出端经第二缓冲罐（18）分别接第一转子流量计（20）、第六电磁阀（10）和第二转子流量计（21）的一端，第一转子流量计（20）的另一端接四通阀（23）的第一输入端，第六电磁阀（10）的另一端经真空泵（22）接四通阀（23）的第二输入端，第二转子流量计（21）的另一端接采样设备，压力变送器（19）和第四电磁阀（8）的连接处经第五电磁阀（9）接四通阀（23）的第三输入端，四通阀（23）的输出端接废气回收装置。