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发明名称
Verfahren zur Ermittlung des Gradienten einer inhomogenen Dotierungskonzentration in stabfoermigen Halbleiterkristallen von einheitlichem Leitungstyp
摘要
申请公布号
DE1133475(B)
申请公布日期
1962.07.19
申请号
DE1960S066848
申请日期
1960.01.29
申请人
SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
ZERBST DIPL.-PHYS. DR. MANFRED;WINSTEL DIPL.-PHYS. GUENTHER
分类号
C30B13/28;H01L21/00
主分类号
C30B13/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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