发明名称 Verfahren zur Ermittlung des Gradienten einer inhomogenen Dotierungskonzentration in stabfoermigen Halbleiterkristallen von einheitlichem Leitungstyp
摘要
申请公布号 DE1133475(B) 申请公布日期 1962.07.19
申请号 DE1960S066848 申请日期 1960.01.29
申请人 SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ZERBST DIPL.-PHYS. DR. MANFRED;WINSTEL DIPL.-PHYS. GUENTHER
分类号 C30B13/28;H01L21/00 主分类号 C30B13/28
代理机构 代理人
主权项
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