Ionenquelle

摘要

Es wird eine Ionenquelle zum Ausgeben eines Ionenstrahls mit hoher Reinheit von mehrwertigen positiven Ionen bereitgestellt. Die Ionenquelle (10) weist ein Target (12), aus dem durch ein Plasma, das durch Einstrahlung eines Lasers (13) gebildet wird, Elektronen und positive Ionen erzeugt werden, eine erste Stromversorgungsquelle (erste Spannung E1), die ein elektrisches Potential des Targets (12) auf ein Potential einstellt, das höher ist als das eines Ziels der positiven Ionen (entsprechend einem Beschleunigungskanal (18) in 1), und eine zweite Stromversorgungsquelle (zweite Spannung E1), die ein elektrisches Potential auf einem Weg (entsprechend einer Filterelektrode (15) in 1) von dem Target (12) zu dem Ziel (18) auf ein elektrisches Potential einstellt, das höher ist als das des Targets (12), auf.