Optisches Messverfahren und optische Messvorrichtung zum Erfassen einer Oberflächentopographie

摘要

Die Erfindung betrifft ein optisches Messverfahren zum Erfassen einer Oberflächentopographie (1) eines Messobjektes (2). Dazu wird eine Messvorrichtung (3) mit einem Messkopf (4) in einer Messkopfführungsvorrichtung (5) für eine chromatisch-konfokale Erfassung der Oberflächentopographie (1) oder für eine spektralinterferometrische OCT Abstandserfassung zu der Oberflächentopographie (1) bereitgestellt. Zunächst wird spektral breitbandiges Licht einer Lichtquelle (6) aus einem Faserarray (7) mit i Fasern (8) von i Messspots (12 bis 15) über eine gemeinsame Messkopfoptik (10) unter Ausbilden eines Spotarrays (11) aus i Messspots (12 bis 15) auf das Messobjekt (2) aufgebracht. Dann werden i Reflektionsspektren der i Messkanäle erfasst und digitalisiert. Abschließend werden die digitalisierten Reflektionsspektren unter Herausrechnen von systematischen Messfehlern und von Abweichungsbewegungen der Messkopfführungsvorrichtung (5) ausgewertet.