发明名称 |
一种立式炉的保温桶 |
摘要 |
本发明公开了一种立式炉的保温桶,包括底部石英板、竖直安装在石英板上的若干支撑杆、水平安装在支撑杆上的若干石英片,其特征在于,所述保温桶还包括一石英中空壳体,所述中空壳体与所述石英板同心设置,所述支撑杆一端连接所述石英板,另一端连接所述中空壳体。本发明通过将石英片层结构与中空壳体结构有机结合的设计,未增加保温桶的体积,且石英片数量少于同类产品,拆卸非常方便,既有较好的保温效果,又能减少其自身的储热能力,不会对微环境的温度变化造成不利影响,可以提高底部硅片膜厚的均匀性。 |
申请公布号 |
CN103791714A |
申请公布日期 |
2014.05.14 |
申请号 |
CN201410058282.0 |
申请日期 |
2014.02.20 |
申请人 |
北京七星华创电子股份有限公司 |
发明人 |
张骏;柳文涛 |
分类号 |
F27B1/10(2006.01)I |
主分类号 |
F27B1/10(2006.01)I |
代理机构 |
上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 |
代理人 |
吴世华;林彦之 |
主权项 |
一种立式炉的保温桶,包括底部石英板、竖直安装在石英板上的若干支撑杆、水平安装在支撑杆上的若干石英片,其特征在于,所述保温桶还包括一石英中空壳体,所述中空壳体与所述石英板同心设置,所述支撑杆一端连接所述石英板,另一端连接所述中空壳体。 |
地址 |
100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 |