发明名称 ITO表面化学镀镍镀金前表面清洁的方法
摘要 一种在ITO表面化学镀镍镀金前表面清洁的方法,其特征是将氟化铵、氟化氢铵及缓冲剂按一定比例混溶于去离子水中配成清洁溶液,基片用夹具装夹后浸没于清洁溶液中,根据基片表面污染程度选择合适的浸没时间,彻底去除ITO表面引线间玻璃上的污染物并使ITO刚刚露出新鲜的表面。这样清洁处理后再在ITO表面进行镍层和金层沉积时,镍层和金层只沉积于ITO表面,而在其它地方无法沉积,这就消除了因基片表面污染而造成的产品缺陷问题,大大提高了采用化学镀镍镀金方法制造Sensor产品的良率。同时因镍层和金层是沉积于新鲜的ITO表面,而非脏或异物表面,这样镍层和金层与ITO之间的结合力非常强,不会产生镍层和金层与ITO之间脱落问题,产品使用的耐久性可以得到保证。
申请公布号 CN103789751A 申请公布日期 2014.05.14
申请号 CN201210434747.9 申请日期 2012.11.01
申请人 南京华显高科有限公司 发明人 花进;张雄;吴燕妮
分类号 C23C18/18(2006.01)I;C03C15/00(2006.01)I;C03C17/36(2006.01)I 主分类号 C23C18/18(2006.01)I
代理机构 南京天华专利代理有限责任公司 32218 代理人 夏平;瞿网兰
主权项 一种ITO表面化学镀镍镀金前表面清洁的方法,其特征是:a) 首先将氟化铵、氟化氢铵及缓冲剂按一定比例混溶于去离子水中配成ITO表面化学镀镍镀金前表面清洁溶液; b) 将要化学镀镍镀金的基片装夹于夹具中,装好后将夹具整个浸没于上述清洁溶液中;c) 根据基片表面污染程度决定基片在清洁溶液中的浸没时间,如基片较脏,则浸没时间可长一些;d) 将完成清洁的基片进行脱脂→二次去离子水清洗→微蚀→二次去离子水清洗→催化→二次去离子水清洗→活化→二次去离子水清洗处理; e) 将上述完成预处理的基片进行化学镀镍→二次去离子水清洗→化学镀金→二次热去离子水清洗;f) 完成化学镀镍镀金的基片进行检验、烘干,基片烘干后流水至检测工序。
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