用于小角度测量的共光路激光干涉装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种用于小角度测量的共光路激光干涉装置及测量方法。装置包括玻璃平板、角锥棱镜、发射准直光束的干涉仪的内部光路系统、内部光路系统直线滑移座和与目标固定的目标直线滑移座，所述内部光路系统装设于内部光路系统直线滑移座上，所述玻璃平板和角锥棱镜组装于目标直线滑移座上，所述玻璃平板的前后两个表面具有楔角α，所述玻璃平板的前表面与内部光路系统发出的准直光束垂直，所述角锥棱镜的对称轴与所述玻璃平板的光轴重合。测量方法包括用上述的装置同时测量直线运动目标的偏摆角和俯仰角的方法，以及用上述的装置同时测量直线运动目标的滚转角和偏摆角的方法。本发明具有结构简单、分辨率高、精度高、抗干扰能力强的优点。

主权项

一种用于小角度测量的共光路激光干涉装置，其特征在于：包括玻璃平板（1）、角锥棱镜（2）、发射准直光束的干涉仪的内部光路系统（3）、内部光路系统直线滑移座（5）和与目标固定的目标直线滑移座（4），所述内部光路系统（3）装设于内部光路系统直线滑移座（5）上，所述玻璃平板（1）和角锥棱镜（2）组装于目标直线滑移座（4）上，所述玻璃平板（1）的前后两个表面具有楔角α，所述玻璃平板（1）的前表面与内部光路系统（3）发出的准直光束垂直，所述角锥棱镜（2）的对称轴与所述玻璃平板（1）的光轴重合。