| 摘要 |
<p>패턴 형성 장치는, 기판에 형성된 홀의 개구부를 통하여 홀에 입사하도록 레이저 광의 빔을 방출하고 지향시키도록 구성된 레이저 조사 디바이스; 레이저 광을 반사시켜 그 반사된 레이저 광을 홀의 내면에 조사하도록 구성된 반사면을 갖는 광 반사 디바이스로서, 반사면은 개구부에 대향하도록 홀의 저면 상에 배열되는, 상기 광 반사 디바이스; 홀에 도전성 잉크의 액적들을 토출하고 디포짓하도록 구성된 액적 토출 디바이스; 및 반사면 상에서 반사된 레이저 광을 홀의 내면에 조사하여 홀의 내면을 개질하기 위해 레이저 조사 디바이스를 제어하고, 내면이 개질된 홀에 도전성 잉크의 액적들을 토출하고 디포짓하기 위해 액적 토출 디바이스를 제어하도록 구성된 제어 디바이스를 포함한다.</p> |
