发明名称 溅镀靶材及氧化金属薄膜
摘要
申请公布号 TWI437115 申请公布日期 2014.05.11
申请号 TW102115430 申请日期 2013.04.30
申请人 光洋应用材料科技股份有限公司 台南市官田区成功街85号 发明人 卢明昌;郭芝吟;尹新淳;张智咏
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人 高玉骏 台北市松山区南京东路3段248号7楼;杨祺雄 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项
地址 台南市官田区成功街85号