发明名称 可补偿电容偏移的微机电电路及其方法
摘要
申请公布号 TWI437231 申请公布日期 2014.05.11
申请号 TW100130021 申请日期 2011.08.22
申请人 立积电子股份有限公司 台北市内湖区堤顶大道2段407巷20弄1号3楼 发明人 吴家岱
分类号 G01P15/125;G01P21/02 主分类号 G01P15/125
代理机构 代理人 吴丰任 新北市永和区福和路389号6楼之3;戴俊彦 新北市永和区福和路389号6楼之3
主权项
地址 台北市内湖区堤顶大道2段407巷20弄1号3楼