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发明名称 静电卡盘及其基板加工装置
摘要
申请公布号 TWI437617 申请公布日期 2014.05.11
申请号 TW100117989 申请日期 2011.05.23
申请人 高美科股份有限公司 南韩 发明人 曹尚范;崔明镐;崔镇植
分类号 H01L21/02;H01L21/68 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人 祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2
主权项
地址 南韩
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