发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI437707 申请公布日期 2014.05.11
申请号 TW096121025 申请日期 2007.06.11
申请人 东芝股份有限公司 日本 发明人 木下敦宽;古贺淳二
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本