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经营范围
发明名称 研磨装置及研磨方法
摘要
申请公布号 TWI436852 申请公布日期 2014.05.11
申请号 TW097122820 申请日期 2008.06.19
申请人 荏原制作所股份有限公司 日本 发明人 高桥圭瑞;关正也;草宏明;伊藤贤也
分类号 B24B21/00;B24B9/00;H01L21/304 主分类号 B24B21/00
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项
地址 日本
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