发明名称 |
半导体结构与降低半导体结构中信号干扰的方法 |
摘要 |
本发明提供了一种半导体结构,包含一基底、一第一硅贯穿电极、一电感结构以及一电容结构。第一硅贯穿电极设置在基底中,且具有一第一信号。电感结构设置在基底中。电容结构与电感结构电性相连,并与电感结构形成一LC电路以阻隔第一信号的干扰。本发明还提供了一种降低半导体结构中信号干扰的方法。 |
申请公布号 |
CN103779317A |
申请公布日期 |
2014.05.07 |
申请号 |
CN201210413876.X |
申请日期 |
2012.10.25 |
申请人 |
联华电子股份有限公司 |
发明人 |
李宗霖;吴浚昌;曾誌裕 |
分类号 |
H01L23/522(2006.01)I;H01L23/64(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/522(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
史新宏 |
主权项 |
一种半导体结构,包含:一基底;一第一硅贯穿电极,设置在该基底中,该第一硅贯穿电极具有一第一信号;一电感结构设置在该基底中;以及一电容结构与该电感结构电性相连,该电容结构与该电感结构形成一LC电路以阻隔该第一信号的干扰。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区 |