热反应型抗蚀剂材料、使用它的热光刻用层压体以及使用它们的模具的制造方法

摘要

本发明的热反应型抗蚀剂材料的特征在于，元素的氟化物的沸点在200℃以上。据此可以实现一种热反应型抗蚀剂材料，其对为形成槽深度深的图案用氟碳系气体进行的干蚀刻具有很高的耐性。

主权项

一种热光刻用层压体，其特征在于，具备含有热反应型抗蚀剂材料的热反应型抗蚀剂层和设置在所述热反应型抗蚀剂层的下层的蚀刻层，所述热反应型抗蚀剂材料用于使用了氟碳系气体的干蚀刻中，所述热反应型抗蚀剂材料含有选自过渡金属和XII族～XV族元素组成的群组的元素的不完全氧化物，所述元素的主要氟化物的沸点在200℃以上，所述不完全氧化物加热后发生氧化反应，构成所述蚀刻层的蚀刻材料至少含有1种特定元素，所述特定元素是其主要氟化物的沸点在250℃以下的元素，且构成所述热反应型抗蚀剂材料的主要元素的主要氟化物的沸点高于构成所述蚀刻材料的主要元素的主要氟化物的沸点。