一种用于在电容式触摸屏ITO走线上的化学镀镍方法

摘要

本发明提供用于在电容式触摸屏ITO走线上的新型化学镀镍方法。与现有真空溅射技术相比，设备投资少，生产成本低，效率高。与非金属基体上的传统化学镀镍工艺相比，本发明中的溶液具有更好的稳定性与选择性。其步骤为：将ITO薄膜玻璃依次经过除油、刻蚀、敏化、活化、还原、化学镀镍过程。其关键在于敏化时采用含有Cu⁺的敏化液以增加针对ITO薄膜的选择性，且比传统的Sn²⁺敏化液更加稳定；刻蚀时采用含有S₂O₈^2-或HS₂O₈^-的蚀刻液以平稳刻蚀过程、改善刻蚀效果；化学镀镍采用55～65℃的低温施镀，镀液稳定，镀层平整致密。结果表明，该方法易操作、速度快；ITO表面镍层覆盖完整、附着力好，玻璃基体无镍层覆盖，具有高度选择性。

主权项

一种用于在电容式触摸屏ITO走线上的化学镀镍方法，其特征在于以下化学镀镍步骤：（1）除油：将ITO薄膜玻璃放入乙醇溶液中超声清洗1‑5分钟，再放入除油液中，除油液配方包括10‑25g/L NaOH、10‑40g/L Na₃PO₄、20‑30g/L Na₂CO₃、10‑15g/L硅酸钠、1‑3g/L OP乳化剂、去离子水，然后在20‑40℃条件下超声除油3‑15分钟，再用自来水冲洗，再用去离子水清洗；（2）刻蚀：将除油后的ITO薄膜玻璃放入蚀刻液中，蚀刻液配方包括40g/L Na₂SO₄、0.5mL‑3ml/L浓H₂SO₄、2‑7g/L NH₄HF₂、10‑30g/L柠檬酸、去离子水，还包括20‑60g/L过二硫酸盐或过二硫酸氢盐；然后在20‑40℃条件下粗化2‑7分钟，再将ITO薄膜玻璃放入去离子水中并超声清洗1‑3分钟；（3）敏化：将刻蚀后的ITO薄膜玻璃放入敏化液中，敏化液配方包括敏化液的配方包括5‑25mL/L乙二胺或4.0‑8.0g/L联吡啶或4.5‑12.4g/L NaCN或6.0‑16.5g/LKCN或1.5‑4.2g/L硫脲、NaOH或HCl、去离子水，还包括2‑6g/L亚铜盐；然后在20‑40℃条件下敏化4‑8分钟，再将ITO薄膜玻璃放入去离子水中浸洗1‑2分钟；（4）活化：将敏化后的ITO薄膜玻璃放入活化液中，活化液配方包括0.1‑0.3g/L PdCl₂、2‑4mL/L HCl、去离子水，然后在20‑40℃条件下活化4‑8分钟，然后将ITO薄膜玻璃放入去离子水中浸洗1‑2分钟；（5）还原：将活化后的ITO薄膜玻璃放入还原液中，还原液配方包括10‑20g/L NaH₂PO₂·H₂O、去离子水，然后在室温下还原20‑50秒，在去离子水中浸洗1‑2分钟；（6）化学镀镍：将还原后的ITO薄膜玻璃放入化学镀液中，化学镀液配方包括28g/L NiSO₄·7H₂O、30g/L柠檬酸三钠、26g/L NaH₂PO₂·H₂O、15g/L乙酸钠、2‑2.4g/L聚乙二醇、稳定剂、光亮剂、去离子水，用柠檬酸调节pH=4.6‑5.2，然后在50‑65℃条件下施镀1‑6分钟，后用自来水清洗，再用去离子水清洗，最后吹干或烘干，至此即可制得在ITO上镀有附着力良好的镍金属层。