平面度检测装置

摘要

一种平面度检测装置，用于检测待测薄片因翘曲变形产生的平面度误差是否超过预设的极限值。所述平面度检测装置包括载物台和滑动设置于载物台上的检测件。所述载物台上设有第一基准平面以承载待测薄片，所述检测件上设有与第一基准平面平行的第二基准平面。所述待测薄片可以选择性地位于第二基准平面远离第一基准平面的一侧和靠近第一基准平面的一侧。所述第二基准平面和第一基准平面之间的距离根据所述极限值、以及待测薄片和第二基准平面之间的位置关系设置，以使待测薄片的平面度误差超过所述极限值时，待测薄片可以随着检测件的移动而被第二基准平面推动。

主权项

一种平面度检测装置，用于检测待测薄片因翘曲变形产生的平面度误差是否超过预设的极限值；所述平面度检测装置包括载物台，所述载物台上设有第一基准平面以承载待测薄片，其特征在于：所述平面度检测装置还包括滑动设置于载物台上的检测件，所述检测件上设有与第一基准平面平行的第二基准平面，所述待测薄片可以选择性地位于第二基准平面远离第一基准平面的一侧和靠近第一基准平面的一侧，所述第二基准平面和第一基准平面之间的距离根据所述极限值、以及待测薄片和第二基准平面之间的位置关系设置，以使待测薄片的平面度误差超过所述极限值时，待测薄片可以随着检测件的移动而被第二基准平面推动。