发明名称 |
一种连续材料表面常压等离子体多级处理装置 |
摘要 |
本实用新型涉及一种连续材料表面常压等离子体多级处理装置,包括外壳、传动装置、沿进料方向设置的至少二个金属电极组和与所述金属电极组连接的电源,所述外壳下方开口,所述传动装置设置于所述外壳内,所述金属电极组为一对竖直设置于所述外壳内的平板电极并且所述金属电极组设置于所述传动装置之间,所述外壳壁体上开设有用于反应气体进入外壳内的气体入口。本实用新型中反应气体从气体入口进入外壳内,金属电极组通电形成高频电场将反应气体电离,连续材料通过传动装置沿进料方向穿过多个金属电极组之间进行表面处理,实现了连续材料无间断的表面多级处理,结构简单,成本低。 |
申请公布号 |
CN203582972U |
申请公布日期 |
2014.05.07 |
申请号 |
CN201320756534.8 |
申请日期 |
2013.11.27 |
申请人 |
苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
发明人 |
沈文凯;王红卫 |
分类号 |
C23C16/54(2006.01)I;C23C16/513(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/54(2006.01)I |
代理机构 |
苏州华博知识产权代理有限公司 32232 |
代理人 |
孟宏伟 |
主权项 |
一种连续材料表面常压等离子体多级处理装置,其特征在于,包括外壳、传动装置、沿进料方向设置的至少二个金属电极组和与所述金属电极组连接的电源,所述外壳下方开口,所述传动装置设置于所述外壳内,所述金属电极组为一对竖直设置于所述外壳内的平板电极并且所述金属电极组设置于所述传动装置之间,所述外壳壁体上开设有用于反应气体进入外壳内的气体入口。 |
地址 |
215011 江苏省苏州市苏州高新技术产业开发区泰山路2号(博济科技园内) |