| 发明名称 | 一种离子束减速装置 | ||
| 摘要 | 一种离子束减速装置，离子束减速装置主要用于低能大束流离子注入机离子束的一级减速，该装置包括过渡连接块(1)，连接块(2)，减速电极防护板(3)；减速电极基板(4)，终端电极(5)，终端电极侧板(6)，绝缘陶瓷(7)，聚集电极侧板(8)，聚集电极(9)，聚集电极安装板(10)，抑制电极(11)，地电极(12)，地电极安装板(13)，抑制电极安装板(14)，抑制电极安装条(15)，聚集电极安装条(16)，抑制电极短接条(17)，接线柱(18)，聚焦电极短接条(19)，其特征在于：对离子束进行减速，用以获得低能的离子束流。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 申请公布号 | CN103779164A | 申请公布日期 | 2014.05.07 |
| 申请号 | CN201310557475.6 | 申请日期 | 2013.11.08 |
| 申请人 | 北京中科信电子装备有限公司 | 发明人 | 马国宇 |
| 分类号 | H01J37/317(2006.01)I;H01J37/04(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/317(2006.01)I |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人 | 马强 |
| 主权项 | 一种离子束减速装置，离子束减速装置主要用于低能大束流离子注入机离子束的一级减速，该装置包括过渡连接块(1)，连接块(2)，减速电极防护板(3)，减速电极基板(4)，终端电极(5)，终端电极侧板(6)，绝缘陶瓷(7)，聚集电极侧板(8)，聚集电极(9)，聚集电极安装板(10)，抑制电极(11)，地电极(12)，地电极安装板(13)，抑制电极安装板(14)，抑制电极安装条(15)，聚集电极安装条(16)，抑制电极短接条(17)，接线柱(18)，聚焦电极短接条(19)，其特征在于对离子束进行减速，用以获得低能的离子束流。 | ||
| 地址 | 101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号 | ||