氧化亚锡织构薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种氧化亚锡织构薄膜及其制备方法，本发明采用电子束蒸发法在衬底上依次沉积得到氧化亚锡主体层和金属氧化物覆盖层，通过金属氧化物覆盖层的作用改变氧化亚锡薄膜的表面能，进而达到控制热处理过程中氧化亚锡主体层结晶取向，从而得到择优取向为（101）的氧化亚锡织构薄膜。本发明的氧化亚锡织构薄膜对衬底要求不高，采用普通的石英即可，且制备工艺简单，成本低廉，采用电子束蒸发法，可大面积均匀成膜，适用于商业生成。

主权项

一种氧化亚锡织构薄膜，其特征在于，从下至上依次包括：衬底，氧化亚锡主体层和金属氧化物覆盖层，所述氧化亚锡主体层中氧化亚锡的择优取向为(101)。