| 摘要 |
<p>증기 발생기(10)는, 유로관(14, 16, 18)과, 유로관(14)의 일단에 유기 용제의 액체를 공급하는 액체 유기 용제 공급부(30)와, 유로관(14, 16, 18)을 가열하는 가열부(20, 22, 24)를 구비하고 있다. 유로관(14, 16, 18)은, 일단으로부터 타단을 향해 갈수록 그 단면적이 커지도록 구성되어 있다. 유로관(14)의 일단에 공급된 유기 용제의 액체가 가열되어 유로관(18)의 타단으로부터 유기 용제의 증기가 유출되도록 되어 있다. 기판 처리 장치(60)는, 전술한 증기 발생기(10)를 구비하고 있다.</p> |
