发明名称 夹持装置及工件输送机械手
摘要 本发明提供一种能够以较高的位置精度保持工件及解除该保持状态、并且耐振性较强的夹持装置。夹持装置(101)能够在工件保持台(31)上保持工件(W)及解除该保持状态,该夹持装置(101)构成为:在工件保持台(31)上包括:顶端侧固定块(41、42),其设于该工件保持台(31)的顶端(31b)侧;基端侧固定块(51、52),其以隔着工件(W)的方式设于与顶端侧固定块(41、42)相对的基端(31a)侧;以及可动块(61),其配置于靠近基端侧固定块(51、52)的位置处,且被设为能够隔着工件(W)相对于顶端侧固定块(41、42)侧进退。
申请公布号 CN103779260A 申请公布日期 2014.05.07
申请号 CN201310228855.5 申请日期 2013.06.08
申请人 昕芙旎雅有限公司 发明人 占部雄士;三重野靖理
分类号 H01L21/677(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇;张会华
主权项 一种夹持装置,其能够在工件保持台上保持工件及解除该保持状态,其特征在于,在上述工件保持台上包括:顶端侧固定块,其设于该工件保持台的顶端侧;基端侧固定块,其以隔着工件的方式设于与上述顶端侧固定块相对的基端侧;以及可动块,其配置于靠近该基端侧固定块的位置处,且被设为能够隔着工件相对于上述顶端侧固定块侧进退;上述各固定块形成有朝向工件的中心方向并向下方倾斜的向上固定倾斜面,上述可动块形成有朝向工件的中心方向并向上方倾斜的向下可动倾斜面,当在工件保持台上对工件进行保持时,在使工件以横跨上述各固定块的向上固定倾斜面的方式载置于上述各固定块的向上固定倾斜面的状态下,以向下可动倾斜面与工件的侧面相抵接的方式使上述可动块进出,当在工件保持台上解除工件的保持状态时,使上述可动块向与工件相反的方向退避。
地址 日本东京都