一种微电子机械双通道微波功率检测系统及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于微电子机械微波功率传感器的双通道微波功率检测系统及其制备方法，该系统结构非常简单，测量幅度范围大、不消耗直流功率；该系统是以砷化镓为衬底，在衬底上设计有共面波导传输线（A）、热电式MEMS微波功率传感器（B）和MEMS固支梁电容式微波功率传感器（C）：当微波信号功率较小时，由热电式MEMS微波功率传感器来检测，根据热电堆输出电压与微波功率是一一对应的关系；当微波信号功率较大时，由MEMS固支梁电容式微波功率传感器来检测，在共面波导传输线上方的MEMS固支梁设计了一个正方形的质量块，增加了与共面波导传输线的面积，同时增加了MEMS固支梁中心位置的重量，使得静电力更容易引起MEMS固支梁大的形变，提高了系统的灵敏度。

主权项

一种微电子机械双通道微波功率检测系统，其特征在于：所述检测系统是由砷化镓为衬底，在衬底上设有共面波导传输线、热电式MEMS微波功率传感器和MEMS固支梁电容式微波功率传感器组成；所述的热电式MEMS微波功率传感器是由共面波导末端并联的两个电阻、热电堆、输出电压检测端口和稳定热电堆冷端温度的金属块组成；所述的共面波导传输线是由中心信号线和地线组成；在所述的共面波导传输线上方的MEMS固支梁上面有一个正方形的质量块。