一种氮化硅研磨装置

摘要

本实用新型公开了一种氮化硅研磨装置，该氮化硅研磨装置包括动力元件、研磨元件和收集器，其中，动力元件输出旋转运动，研磨元件与动力元件的输出端连接，收集器用于盛放待研磨氮化硅，研磨元件的研磨面朝向收集器；在氮化硅研磨时，启动动力元件并驱动研磨元件随动力元件的输出端转动，从而实现收集器内的氮化硅的研磨；这样，通过机械设备实现氮化硅的研磨，从而提高了研磨效率和研磨均匀性，并且降低了操作人员的劳动强度，保证了员工的身体健康。

主权项

一种氮化硅研磨装置，其特征在于，包括输出旋转运动的动力元件和盛放待研磨氮化硅的收集器（1），所述动力元件的输出端连接有研磨元件（5），所述研磨元件（5）的研磨面朝向所述收集器（1）。