一种精密定位隔振平台

摘要

本发明公开了一种定位隔振平台，它包括定位隔振装置和主动控制器，两者之间通过电气连接，主动控制器对定位隔振装置进行位置控制和振动控制。定位隔振装置包括分布在正三角形顶点的三支撑腿及其共同支撑的一块负载平板。每一个支撑腿中有一个螺旋弹簧作为主要支撑部件。一个位移传感器布置在连接板下方检测连接板位移，负载平台对应支撑腿的位置安装有垂向速度传感器。主动控制器为主从开放式结构形式，由上位控制计算机和下位执行控制器组成，保证负载平台保持在设定位置，并有效的隔离地基振动对平台精度的影响。本发明可广泛应用于精密加工、精密测量、光学实验等对平面位置精度有特殊要求的领域。

主权项

一种定位隔振平台，它包括定位隔振装置和主动控制器，两者之间通过电气连接，主动控制器对定位隔振装置进行位置控制和振动控制；所述定位隔振装置包括三个结构相同的支撑腿（2），以及三个速度传感器（3），三个支撑腿（2）分别位于负载平板（1）的三个角并共同对其进行支撑，三个速度传感器（3）安装在负载平板（1）对应三个支撑腿（2）的位置，用于检测负载平板（1）的三个角处垂向的绝对速度；每个所述支撑腿（2）均包括音圈电机、气浮导轨、螺旋弹簧（2.22）、柔性块（2.5）和位移传感器（2.72）；音圈电机定子（2.61）与基板（2.0）相连，音圈电机动子（2.62）与U型连接架（2.63）相连；脚垫座（2.1）固定在基座（2.0）上，脚垫螺钉（2.12）的一端通过螺纹与脚垫座（2.11）连接，气浮导轨由气浮导轨外部套筒（2.31）和气浮圆柱（2.32）组成，气浮圆柱（2.32）位于气浮导轨外部套筒（2.31）内部，气浮圆柱（2.32）能够沿着气浮导轨外部套筒（2.31）的内壁上下滑动；气浮导轨外部套筒（2.31）固定在基座（2.0）的一个立柱上，螺旋弹簧（2.22）上端固定在气浮圆柱（2.32）的下端，另一端与螺旋弹簧夹持板（2.21）连接；螺旋弹簧夹持板（2.21）由脚垫螺钉（2.12）支撑；连接板（2.4）一端与气浮圆柱（2.32）的上端相连，连接板（2.4）另一端与U型连接架（2.63）相连；柔性块（2.5）固定在连接板（2.4）的中间位置；位移传感器（2.72）通过位移传感器安装板（2.71）固定在基座（2.0）的另一个立柱上；位移传感器（2.72）探测头正好位于连接板（2.4）固定柔性块（2.5）位置的下方，用于检测柔性块（2.5）处的垂向位移；柔性块（2.5）与负载平板（1）固定，对负载平板（1）进行支撑，速度传感器（3）固定在支撑腿（2）上方的负载平板（1）上，用于检测负载平板此处的速度信号；限位螺钉（1.0）的一端通过螺纹连接在音圈电机定子（2.61）上，其另一端位于负载平板（1）的沉头孔中，但未与负载平板（1）相接触。