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经营范围
发明名称
基板处理方法及基板处理装置
摘要
申请公布号
TWI436421
申请公布日期
2014.05.01
申请号
TW100127317
申请日期
2011.08.02
申请人
东京威力科创股份有限公司 日本
发明人
宇贺神肇;户泽茂树
分类号
H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/683
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
林秋琴 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;何爱文 台北市大安区敦化南路1段245号8楼
主权项
地址
日本
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