| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen von Halbleiterbauelementen, insbesondere Transistoren |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1164573(B) |
申请公布日期 |
1964.03.05 |
| 申请号 |
DE1960T018914 |
申请日期 |
1960.08.27 |
| 申请人 |
TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT M.B.H. |
发明人 |
KLOSSIKA WALTER;WEIMANN DIPL.-ING. KLAUS;BAUMANN DIETER |
| 分类号 |
C23F1/00;H01L21/00;H01L21/306 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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