发明名称 基板划线方法
摘要
申请公布号 TWI436453 申请公布日期 2014.05.01
申请号 TW098125830 申请日期 2003.10.15
申请人 三星钻石工业股份有限公司 日本 发明人 西尾仁孝;冈岛康智;大岛幸雄;大成弘行;吉本和宏
分类号 H01L21/77;C03B33/02;B28D1/22 主分类号 H01L21/77
代理机构 代理人 桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项
地址 日本