发明名称 薄膜图案的制造方法、显示基板
摘要 本发明提供薄膜图案的制造方法、显示基板,涉及显示技术领域。在显示基板的生产和加工过程中,能够避免掩膜板的使用。通过在基板上形成待图案化的第一薄膜层,并在该第一薄膜层的表面形成第一覆盖层,通过光束熔损的方法形成第一覆盖层图案,然后将上述第一覆盖层图案未覆盖的第一薄膜层去除掉,从而形成第一薄膜层图案。
申请公布号 CN103760749A 申请公布日期 2014.04.30
申请号 CN201410015561.9 申请日期 2014.01.14
申请人 北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司 发明人 徐利燕;田明;王俊伟
分类号 G03F7/00(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I 主分类号 G03F7/00(2006.01)I
代理机构 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人 申健
主权项 一种薄膜图案的制造方法,其特征在于,包括:在基板上形成待图案化的第一薄膜层;在所述第一薄膜层的表面形成第一覆盖层;通过光束熔损形成第一覆盖层图案;去除所述第一覆盖层图案未覆盖的所述第一薄膜层,形成第一薄膜层图案。
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