发明名称 |
薄膜图案的制造方法、显示基板 |
摘要 |
本发明提供薄膜图案的制造方法、显示基板,涉及显示技术领域。在显示基板的生产和加工过程中,能够避免掩膜板的使用。通过在基板上形成待图案化的第一薄膜层,并在该第一薄膜层的表面形成第一覆盖层,通过光束熔损的方法形成第一覆盖层图案,然后将上述第一覆盖层图案未覆盖的第一薄膜层去除掉,从而形成第一薄膜层图案。 |
申请公布号 |
CN103760749A |
申请公布日期 |
2014.04.30 |
申请号 |
CN201410015561.9 |
申请日期 |
2014.01.14 |
申请人 |
北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
徐利燕;田明;王俊伟 |
分类号 |
G03F7/00(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 |
代理人 |
申健 |
主权项 |
一种薄膜图案的制造方法,其特征在于,包括:在基板上形成待图案化的第一薄膜层;在所述第一薄膜层的表面形成第一覆盖层;通过光束熔损形成第一覆盖层图案;去除所述第一覆盖层图案未覆盖的所述第一薄膜层,形成第一薄膜层图案。 |
地址 |
100176 北京市大兴区经济技术开发区经海一路118号 |