玻璃基三维光电同传器件及其制作方法

摘要

本发明公开了一种玻璃基三维光电同传器件及其制作方法，其中光电同传器件玻璃基板，玻璃基板上依次设置有铜层、水平波导层以及上包层；玻璃基板上垂直设置有垂直光通孔和垂直玻璃通孔，铜层上布设有RDL图形，垂直光通孔中的芯层与水平波导层连为一体，水平波导层上设置有光电互连孔以及倒三角形反射镜，上包层上设置有开口；所述光电互连孔和开口电镀有金属。所述制作方法主要包括在玻璃基板上制作垂直玻璃通孔、垂直光通孔、蒸镀铜层、旋涂水平波导层、制作光电互连孔及反射镜、制作上包层的步骤。本发明能够在同一玻璃基板上实现光波导的水平光互连和垂直互连、垂直方向和水平方向的电互连以及光电之间相互传导的目的，制作工艺简单，成本低廉。

主权项

玻璃基三维光电同传器件，包括玻璃基板（1），其特征在于：所述玻璃基板（1）上依次设置有铜层（4）、水平波导层（5）以及上包层（6）；所述玻璃基板（1）上垂直设置有垂直光通孔（9）和与铜层（4）连通的垂直玻璃通孔（7），所述铜层上布设有RDL图形（10），所述垂直光通孔中的芯层与水平波导层连为一体，所述水平波导层（5）上设置有光电互连孔（11）以及对应垂直光通孔（9）外侧壁的倒三角形反射镜（13），所述上包层上设置有与光电互连孔（11）连通的开口（12）；所述光电互连孔（11）和开口（12）电镀有铜液。