功能性微机械组件

摘要

本发明涉及一种功能性微机械组件(100)，其包括至少第一构件(10)，第一构件具有限定出第一接触表面的第一层，该第一接触表面用于与由第二层限定出的第二接触表面摩擦接触，所述第二层属于所述第一构件(10)，或者至少属于与所述第一构件(10)一起形成所述组件(100)的第二微机械构件(20)，其特征在于，所述第一和第二层均含有至少50％碳原子的碳，所述层的所述第一和第二接触表面的表层晶面的取向彼此不同。

主权项

一种功能性微机械组件(100)，其至少包括第一构件(10)，所述第一构件(10)至少设置有第一面，至少所述第一面涂覆有限定出第一接触表面(11a)的第一层(11)，该第一接触表面用于与由第二层(21)限定出的第二接触表面(21a)摩擦接触，所述第二层至少涂覆第二面，所述第一构件(10)或者至少第二微机械钟表构件(20)与所述第一构件(10)一起形成所述组件(100)，其特征在于，所述第一和第二层(11，21)均包含具有至少50％碳原子的碳，所述第一接触表面具有第一确定晶面取向，所述第二接触表面具有第二确定晶面取向，并且所述第一和第二确定取向彼此不同。