无机材料真空蒸镀设备

摘要

本发明提供了一种无机材料真空蒸镀设备，包括真空蒸镀室和自动控制系统。在本发明提供的真空蒸镀设备中，各模块通过收集真空蒸镀室内各项参数信号，并将各项参数信号发送给控制总机，所述控制总机根据预设的各项参数对收到的各项参数信号进行处理得到反馈信号，并将该反馈信号反馈给相应的控制模块，相应的控制模块再根据相应的反馈信号对相应的部件进行自动调控，实现无机材料真空镀膜的自动控制，不仅节省了大量人力，更重要的是能够实现对无机材料真空蒸镀过程的有效监测，实现了无机材料真空蒸镀精度、品质和速度的提高。

主权项

一种无机材料真空蒸镀设备，其特征在于，包括真空蒸镀室和自动控制系统；其中，所述真空蒸镀室包括：腔体；与所述腔体相通的抽真空设备；设置在所述腔体内、用于加热蒸发源的电阻加热束源炉，所述电阻加热束源炉上方设置有第一挡板；与所述电阻加热束源炉对应设置的衬底平台，所述衬底平台上设置有第二挡板；设置在所述腔体内的掩膜版储仓；与所述掩膜版储仓相连、用于输送掩膜版并使所述掩膜版与衬底对接或分离的掩膜版对接系统；与所述腔体相通、用于传送衬底并使所述衬底与所述衬底平台连接或分离的机械传送交接系统，所述机械传送交接系统与所述衬底平台相连接；所述自动控制系统包括：控制总机，分别与所述控制总机相连的真空系统控制模块、膜厚监测控制模块、束源炉温控模块、衬底平台控制模块、传送交接控制模块、掩膜版对接模块和挡板监控模块；其中，所述真空系统控制模块用于采集所述腔体内的真空度信号并将所述真空度信号发送给所述控制总机，以及用于接收所述控制总机依据所述真空度信号生成的反馈信号，并依据所述反馈信号控制抽真空设备；所述膜厚监测控制模块用于采集蒸发源的蒸发速度信号和膜厚度信号，并将所述蒸发速度信号和所述膜厚度信号发送给所述控制总机；所述束源炉温控模块用于采集束源炉的温度信号并将所述温度信号发送给所述控制总机，以及用于接收所述控制总机依据所述温度信号和所述蒸发速度信号和/或膜厚度信号生成的反馈信号，并依据所述反馈信号控制束源炉；所述衬底平台控制模块用于采集衬底平台的高度信号、位置信号、温度信号和转速信号并将所述高度信号、位置信号、温度信号和转速信号发送给所述控制总机，以及用于接收所述控制总机分别依据所述高度信号、位置信号、温度信号和转速信号生成的反馈信号，并依据各反馈信号控制衬底平台；所述传送交接模块用于接收所述控制总机发送的控制信号，并根据所述控制信号控制机械传送交接系统；所述掩膜版对接模块用于采集掩膜版的位置信号并将所述位置信号发送给所述控制总机，以及用于接收所述控制总机依据所述掩膜版的位置信号和衬底平台的位置信号所生成的反馈信号，并根据所述反馈信号控制掩膜版对接系统；所述挡板监控模块用于接收所述控制总机发送的开启信号和关闭信号，以及接收所述控制总机分别依据所述蒸发速度信号和所述膜厚度信号生成的反馈信号，并依据所述开启信号、关闭信号和反馈信号控制第一挡板和第二挡板。