发明名称 |
可快速风冷的热处理装置 |
摘要 |
本发明提供了一种可快速风冷的热处理装置,包括炉体,所述炉体设有内壁、外壁、连接板,所述内壁与所述外壁的底部设有入风口,所述连接板用于连接所述内壁及所述外壁,所述连接板上设有若干供气流通过的通孔;所述炉体的顶部设有可拆卸的排风装置,所述排风装置上设有至少一个供气流通过的排风口,所述入风口与所述排风口连通。本发明通过在炉体上设有内外壁用于通风的夹层,内壁与外壁的底部不连接成为风的入口,在炉体的顶部设置可拆卸的排风装置。在炉体降温的过程,向内外壁的夹层中通入冷风,排送至排风口,起到加快炉体降温的效果。 |
申请公布号 |
CN103762164A |
申请公布日期 |
2014.04.30 |
申请号 |
CN201410058258.7 |
申请日期 |
2014.02.20 |
申请人 |
北京七星华创电子股份有限公司 |
发明人 |
董金卫;孙少东;徐冬 |
分类号 |
H01L21/324(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/324(2006.01)I |
代理机构 |
上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 |
代理人 |
吴世华;陶金龙 |
主权项 |
一种可快速风冷的热处理装置,包括炉体,其特征在于,所述炉体设有内壁、外壁、连接板,所述内壁与所述外壁的底部设有入风口,所述连接板用于连接所述内壁及所述外壁,所述连接板上设有若干供气流通过的通孔;所述炉体的顶部设有可拆卸的排风装置,所述排风装置上设有至少一个供气流通过的排风口,所述入风口与所述排风口连通。 |
地址 |
100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 |