发明名称 可快速风冷的热处理装置
摘要 本发明提供了一种可快速风冷的热处理装置,包括炉体,所述炉体设有内壁、外壁、连接板,所述内壁与所述外壁的底部设有入风口,所述连接板用于连接所述内壁及所述外壁,所述连接板上设有若干供气流通过的通孔;所述炉体的顶部设有可拆卸的排风装置,所述排风装置上设有至少一个供气流通过的排风口,所述入风口与所述排风口连通。本发明通过在炉体上设有内外壁用于通风的夹层,内壁与外壁的底部不连接成为风的入口,在炉体的顶部设置可拆卸的排风装置。在炉体降温的过程,向内外壁的夹层中通入冷风,排送至排风口,起到加快炉体降温的效果。
申请公布号 CN103762164A 申请公布日期 2014.04.30
申请号 CN201410058258.7 申请日期 2014.02.20
申请人 北京七星华创电子股份有限公司 发明人 董金卫;孙少东;徐冬
分类号 H01L21/324(2006.01)I 主分类号 H01L21/324(2006.01)I
代理机构 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人 吴世华;陶金龙
主权项 一种可快速风冷的热处理装置,包括炉体,其特征在于,所述炉体设有内壁、外壁、连接板,所述内壁与所述外壁的底部设有入风口,所述连接板用于连接所述内壁及所述外壁,所述连接板上设有若干供气流通过的通孔;所述炉体的顶部设有可拆卸的排风装置,所述排风装置上设有至少一个供气流通过的排风口,所述入风口与所述排风口连通。
地址 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
您可能感兴趣的专利