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发明名称 VERFAHREN ZUR ENTFERNUNG ORGANISCHER KONTAMINATION VON EINER HALBLEITEROBERFLÄCHE
摘要
申请公布号 AT522926(T) 申请公布日期 2011.09.15
申请号 AT19980870026T 申请日期 1998.02.10
申请人 IMEC 发明人 DE GENDT, STEFAN;SNEE, PETER;HEYNS, MARC
分类号 H01L21/306;G03F7/42;H01L21/311;H01L21/768 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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