Vorrichtung zum Fertigen eines Halbleiter- oder Metalloxidblocks

摘要

Es wird eine Vorrichtung zum Fertigen eines Halbleiter- oder Metalloxidblocks durch schrittweise Induzieren eines Phasenübergangs eines flüssigen Rohmaterials von flüssig zu fest, der einer Erstarrungsrichtung folgt, vorgesehen, wobei die Vorrichtung umfasst: einen Tiegel, der ein Halbleiter- oder Metalloxid-Rohmaterial enthält; eine Kühleinrichtung, die von dem Tiegel bei einem vorbestimmten Abstand in einer vertikalen Richtung beabstandet ist, wenn eine Höhenrichtung des Tiegels als vertikale Richtung bezeichnet ist und eine Richtung senkrecht zu der vertikalen Richtung als horizontale Richtung bezeichnet ist; eine erste Heizeinrichtung, die von dem Tiegel bei einem vorbestimmten Abstand in der horizontalen Richtung beabstandet ist und eine Umfangsfläche des Tiegels umgibt; und ein isolierendes Element, das zwischen dem Tiegel und der Kühleinrichtung in der horizontalen Richtung vorgesehen ist, wobei eine Position des isolierenden Elements durch eine Verschiebeeinrichtung verschoben wird.