直流辉光等离子体装置及金刚石片的制备方法

摘要

本发明实施例公开了一种直流辉光等离子体装置，包括：电极系统、水冷真空系统和电源控制系统，所述电源控制系统包括脉冲直流电源。本发明提供的装置可以在高气压条件下采用放电的脉冲运行，有效地抑制辉光向弧放电转移，能够得到稳定的高气压直流辉光放电等离子体。本发明还提供一种直流辉光等离子体的处理方法和一种金刚石片的制备方法，采用从脉冲到稳态运行来产生高气压辉光等离子体。脉冲运行有效地抑制辉光向弧放电转移，同时维持等离子体的稳定；此外通入氩气有利于获得稳定的均匀等离子体。由于稳定的高气压均匀等离子体中含有大量的活性粒子，可以大大提高金刚石片的生长速率。

主权项

一种直流辉光等离子体装置，其特征在于，包括：电极系统、水冷真空系统和电源控制系统，所述电源控制系统包括脉冲直流电源；所述电极系统包括阴极和与所述阴极相对的阳极，所述阴极为杯形电极，所述杯形电极覆盖于阴极水冷支架外；所述杯形电极的底面为平面或曲面，所述阳极为平面电极或曲面电极；所述脉冲直流电源的放电电压为500～1200V，放电电流为5～25A。