Mikromechanisches Bauelement mit Bondverbindung

摘要

Ein mikromechanisches Bauelement umfasst ein Substrat und eine erste Oxidschicht auf dem Substrat, wobei die erste Oxidschicht einen Durchlass aufweist. Ferner umfasst das Bauelement eine leitfähige Funktionsschicht, die im Bereich des Durchlasses auf der ersten Oxidschicht angebracht ist und eine Metallschicht, die auf der Funktionsschicht angebracht ist, zur Herstellung einer Bondverbindung. Dabei ist an Seitenflächen der Funktionsschicht eine zweite Oxidschicht zur Isolation der Funktionsschicht angebracht.