| 发明名称 | 压电体波装置及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种利用LiTaO<sub>3</sub>的厚度滑动模式且由电极膜厚、LiTaO<sub>3</sub>的厚度的偏差引起的电特性偏差小的压电体波装置(1)及其制造方法。具备：压电薄板(5)，其由LiTaO<sub>3</sub>构成；和第1电极(6)、第2电极(7)，被设置成与压电薄板(5)接合，利用由LiTaO<sub>3</sub>构成的压电薄板(5)的厚度滑动模式，第1电极(6)、第2电极(7)由具有比在LiTaO<sub>3</sub>中传播的横波的固有声阻抗大的固有声阻抗的导体构成，在将第1电极(6)以及第2电极(7)的膜厚总和设为电极厚度，将由LiTaO<sub>3</sub>构成的压电薄板(5)的厚度设为LT厚度时，电极厚度／(电极厚度+LT厚度)为5％以上、40％以下。 | ||
| 申请公布号 | CN103765771A | 申请公布日期 | 2014.04.30 |
| 申请号 | CN201280042031.2 | 申请日期 | 2012.08.27 |
| 申请人 | 株式会社村田制作所 | 发明人 | 神藤始 |
| 分类号 | H03H3/02(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I;H03H9/05(2006.01)I;H03H9/17(2006.01)I | 主分类号 | H03H3/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 李逸雪 |
| 主权项 | 一种压电体波装置，具备：压电薄板，其由LiTaO<sub>3</sub>构成；第1电极、第2电极，被设置成与所述压电薄板接合；该压电体波装置利用由所述LiTaO<sub>3</sub>构成的压电薄板的厚度滑动模式，所述第1电极、第2电极由具有比在LiTaO<sub>3</sub>中传播的横波的固有声阻抗大的固有声阻抗的导体构成，在将所述第1电极以及第2电极的膜厚的总和设为电极厚度，将由所述LiTaO<sub>3</sub>构成的压电薄板的厚度设为LT厚度时，电极厚度／(电极厚度+LT厚度)为5％以上、40％以下。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||