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发明名称 ARRAY ELEMENT INSPECTION METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH10300631(A) 申请公布日期 1998.11.13
申请号 JP19970214528 申请日期 1997.08.08
申请人 HOYA CORP 发明人 YAMAURA HITOSHI
分类号 G01M11/00;G02B6/00;(IPC1-7):G01M11/00 主分类号 G01M11/00
代理机构 代理人
主权项
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