多极测定装置

摘要

为了提供一种能容易地取得对带电粒子束装置的象差进行修正的象差修正器的表格数据的多极测定装置，在具备光学系统(10)、被插入象差修正器(6)的空间、和位置检测器(7)的多极测定装置中，对于在多个点进行的一次带电粒子束向象差修正器(6)的入射位置以及角度和在位置检测器(7)上的照射位置与多极的关系，通过在激励了多极场的状态以及不激励的状态下进行测定，由此提取出激励了多极场的状态包含的多极成分。

主权项

一种多极测定装置，其具备：照射光学系统，其照射一次带电粒子束；二维位置检测器，其检测被照射该一次带电粒子束的面上的位置坐标；会聚透镜，其使上述一次带电粒子束会聚到该二维位置检测器的检测面上；用于在该会聚透镜与上述二维位置检测器之间插入象差修正器的空间，该象差修正器具有多段的多极；偏向器，其对上述一次带电粒子束入射到被插入该空间时的上述象差修正器的位置以及角度进行控制；象差修正器控制部，其对由上述象差修正器激励的多极的强度以及种类进行控制；和存储部，其存储：在由该象差修正器控制部激励了任意的多极的状态下由上述偏向器控制的上述一次带电粒子束向上述象差修正器入射的位置以及角度、和由上述二维位置检测器检测出的照射位置的关系，在多个点进行因偏向引起的上述一次带电粒子束向上述象差修正器的入射，通过在激励了多极场的状态以及不激励多极场的状态下对在多个点进行的上述一次带电粒子束向上述象差修正器的入射位置以及角度、上述照射位置和上述多极的关系进行测定，由此提取出激励了上述多极场的状态所包含的多极成分。