发明名称 具有减反射膜的太阳能电池元件及其制备方法
摘要 本发明提供了一种具有减反射膜的太阳能电池元件及其制备方法。该太阳能电池元件包括:光吸收部件;减反射膜系,形成于光吸收部件的上方,至少包括:具有六角形周期分布纳米孔的Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>减反射膜(AAO薄膜)。本发明采用AAO薄膜作为减反射膜,该AAO薄膜的折射率可以在一定范围内调节,以适应多层减反射膜的设计需求。
申请公布号 CN103762248A 申请公布日期 2014.04.30
申请号 CN201410031339.8 申请日期 2014.01.23
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 杨添舒;刘雯;时彦朋;马静;王晓东;杨富华
分类号 H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/0216(2014.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 曹玲柱
主权项 一种具有减反射膜的太阳能电池元件,其特征在于,包括:光吸收部件;减反射膜系,形成于所述光吸收部件的上方,至少包括:具有六角形周期分布纳米孔的Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>减反射膜。
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