发明名称 |
具有减反射膜的太阳能电池元件及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供了一种具有减反射膜的太阳能电池元件及其制备方法。该太阳能电池元件包括:光吸收部件;减反射膜系,形成于光吸收部件的上方,至少包括:具有六角形周期分布纳米孔的Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>减反射膜(AAO薄膜)。本发明采用AAO薄膜作为减反射膜,该AAO薄膜的折射率可以在一定范围内调节,以适应多层减反射膜的设计需求。 |
申请公布号 |
CN103762248A |
申请公布日期 |
2014.04.30 |
申请号 |
CN201410031339.8 |
申请日期 |
2014.01.23 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
杨添舒;刘雯;时彦朋;马静;王晓东;杨富华 |
分类号 |
H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0216(2014.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
曹玲柱 |
主权项 |
一种具有减反射膜的太阳能电池元件,其特征在于,包括:光吸收部件;减反射膜系,形成于所述光吸收部件的上方,至少包括:具有六角形周期分布纳米孔的Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>减反射膜。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |