发明名称 |
一种具有搭桥晶粒结构的多晶硅薄膜的制备方法 |
摘要 |
本发明提供了一种制备具有搭桥晶粒结构的多晶硅薄膜的方法,包括:1)在多晶硅薄膜表面旋涂光刻胶;2)软烤,然后使用光刻机对光刻胶进行曝光;3)进行显影处理,在光刻胶中形成多个条形凹槽,周期为0.5-1μm;4)硬烤,然后通过离子注入进行掺杂。 |
申请公布号 |
CN103762175A |
申请公布日期 |
2014.04.30 |
申请号 |
CN201110461881.3 |
申请日期 |
2011.12.31 |
申请人 |
广东中显科技有限公司 |
发明人 |
赵淑云;郭海成;王文 |
分类号 |
H01L21/336(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;C30B31/22(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/336(2006.01)I |
代理机构 |
北京瑞恒信达知识产权代理事务所(普通合伙) 11382 |
代理人 |
苗青盛;王凤华 |
主权项 |
一种制备具有搭桥晶粒结构的多晶硅薄膜的方法,包括:1)在多晶硅薄膜表面旋涂光刻胶;2)软烤,然后使用光刻机对光刻胶进行曝光;3)进行显影处理,在光刻胶中形成多个条形凹槽,周期为0.5‑1μm;4)硬烤,然后通过离子注入进行掺杂。 |
地址 |
528225 广东省佛山市南海区狮山工业园北园中路11号 |