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发明名称 LOW INTERNAL STRESS COPPER ELECTROPLATING METHOD
摘要
申请公布号 SG2012066940(A) 申请公布日期 2014.04.28
申请号 SG20120066940 申请日期 2012.09.10
申请人 ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC 发明人 GEORGE R. ALLARDYCE;GARY HAMM;NARSMOUL KARAYA
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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